永利澳门

软物质微纳加工实验室

  • 平台负责人

    王宏达

    主任

    负责平台的科研与教学主要方向

    联系电话:021-2068-5292

    办公地址:物质7号楼208

    邮 箱:htwang@@shanghaitech.edu.cn

  • 张艳 主任助理/光刻与蚀刻工程师 

    协助主任管理平台运行的日常事务;负责无掩模激光直写光刻机、反应离子刻蚀系统、MOSPiranhaHF腐蚀清洗通风橱-1、旋转冲洗甩干机、匀胶旋涂仪、二氟化氙刻蚀系统、紫外臭氧清洗机等设备

    联系电话:021-2068-4687

    办公地址:物质7号楼208

    邮 箱:zhangyan@@shanghaitech.edu.cn

  • 熊荣欣 光刻与蚀刻工程师 

    负责双轨式自动甩胶显影机、手动紫外光刻机、HMDS表面处理真空烘箱、离子束刻蚀系统、显影及去胶通风橱、MOSPiranhaHF腐蚀清洗通风橱-2、旋转冲洗甩干机等设备

    联系电话:021-2068-4670

    办公地址:物质7号楼208

    邮 箱:xiongrx@@shanghaitech.edu.cn

  • 张超 薄膜与器件工程师  

    负责磁控溅射薄膜沉积系统、电子束沉积系统、快速热处理系统、微控楔键合机、接触角测量仪、半导体器件分析仪、手动探针台、Lift-off通风橱等设备

    联系电话:021-2068-5517

    办公地址:物质7号楼208

    邮 箱:zhangchao1@@shanghaitech.edu.cn

  • 何金金 薄膜与器件工程师  

    负责薄膜应力测试系统、椭偏仪、晶元切割机、Parylene沉积系统、等离子体增强化学气相沉积系统、磁控溅射薄膜沉积系统等设备

    联系电话:2068-4672

    办公地址:物质7号楼208

    邮 箱:hejj@shanghaitech.edu.cn

  • 陆盛楠  薄膜与器件工程师  

    负责原子力显微镜、四探针电阻仪、台阶仪、聚合物笔直写系统、临界点干燥仪、电子束沉积系统、原子层沉积系统等设备

    联系电话:021-2068-4692  

    办公地址:物质7号楼208  

    邮箱:lushn@@shanghaitech.edu.cn  


  • 高珍 聚焦氦离子束显微镜工程师   

    负责聚焦离子束氦离子显微镜、光干涉式膜厚测量系统、3D共聚焦激光显微镜、6寸光学显微镜等设备

    联系电话:021-2068-4649  

    办公地址:物质7号楼208  

    邮箱:gaozhen@@shanghaitech.edu.cn  

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